금속 또는 반도체가 산소와 반응해서 생성되는 엷은 막. 반도체 공업에서는 실리콘 단결정이 각종 트랜지스터의 재료이며, 실리콘 산화막을 간단히 산화막이라 한다. 이 막은 실리콘을 약 1000℃의 산소 또는 수증기 중에 두면 생성된다. 구조는 녹아 있는 석영(石英)과 같은 유리 상태에서 실리콘과 산소가 그물코 모양으로 되어 있다. 절연성이 높고 화학적으로 안정되어 있어서 트랜지스터 제작 시 실리콘 결정에 함유된 각종 불순물의 확산 방지에도 사용된다.