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• 게터링, gettering

  것과 제조 공정 중에 들어간 것이 있다. 일반적으로 오염 금속 원자는 확산 계수가 커서 900/1000℃의 열처리를 하면 상당한 거리를 이동한다. 이 금속 원자를 흡수, 제거하는 전형적인 방법은 인(燐)게터링법이다. 인이 확산할 때에 형성된 인유리로 금속을 흡수하고, 표면 게터링은 웨이퍼의 표면에서 금속을...