“멤스”으로 총 2건 검색

• 멤스, -電氣機械裝置, Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS

  기계, 광 등 초정밀 반도체 제조 기술을 융합하고 미세 가공하여 전자기계적으로 동작할 수 있도록 한 마이크로 단위의 작은 부품 및 시스템 또는 이를 설계, 제작하고 응용하는 기술. 멤스는 정보기기의 센서나 잉크젯 프린터 헤드, 하드 디스크 드라이브(HDD) 자기 헤드, 프로젝터 등 초소형이면서 고도의...

• 멤스, Micro Electro Mechanical System, MEMS

  반도체 제조 기술을 이용해 기판 위에 3차원의 구조물을 형성하는 기술로 반도체 기술, 기계 기술, 그리고 광 기술 등을 융합하여 마이크로 단위의 작은 부품 및 시스템을 설계, 제작하고 응용하는 기술

  출처 : 단체표준 TTAK.KO-10.0647 멤스 마이크로폰의 특성 평가 -제2부: 패키지 레벨 민감도 측정 방법