“삼불화질소”으로 총 1건 검색

• 삼불화질소, 三弗化窒素, Nitron Fluorine Three, NF3

  공정 장비 내 체임버를 세정하는 특수 가스. 삼불화질소(NF3)는 암모니아와 불소를 고온, 고압 반응을 통해 추출하고, 정제시키는 과정으로 순도를 높인다. NF3는 배출 가스량을 현저히 감소시키고, 공정 처리량을 증가시키며, 반도체 및 디스플레이 장비의 수명을 연장시키고, 세정률을 가속시킬 수 있다. 또한...