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• 스퍼터링, sputtering

  목적물 표면에 막의 형태로 부착하는 기술. 세라믹이나 반도체 소재 등에 전자 회로를 만들기 위해 고진공 상태에서 고체를 증발시켜 박막(thin film)이나 후막(thick film)을 형성하는 경우에 사용된다.