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• 에칭, etching

  진행되기 때문에 마스크의 아래 부분도 식각되는 단점이 있으나, 드라이 에칭은 할로겐화물 등의 화학적 활성 가스를 플라스마 상태로 하여 플라스마 중의 이온의 작용에 의해 에칭하는 반응성 이온 에칭법으로서, 기판면의 수직 방향으로만 식각이 진행되는 이방성(異方性) 에칭이 실현되기 때문에 초대규모...