“정전척”으로 총 1건 검색

• 정전척, 靜電-, Electrostatic Chuck, ESC

  힘을 사용해 기판을 하부 전극에 고정해 주는 핵심 부품. 정전 척(ESC)에 '+', '-'를 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전('-', '+')되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용한다. 정전 척은 반도체의 웨이퍼를 수평으로 고정하거나 LCD의 유리 기판을 수평하게 유지하는 데...