산화 절연층으로 보통은 규소 이산화 절연층을 지닌 전계 효과 트랜지스터(FET)의 한 가지. 게이트는 반도체 내에 있는 유출원 전도 채널과 산화 절연층에 의해 분리되어 있다. 입력 전하량을 충전시키거나 제거할 펄스 정도의 게이트 입력 전압을 필요로 한다. 양극성 트랜지스터보다 적은 전력으로 작동할 수 있다.