유리 기판 등의 절연 물체 위에 화학 증착법(CVD)으로 트랜지스터를 형성하는 것. 구조는 보통의 금속 산화물 반도체(MOS) 트랜지스터와 같다. 통상적으로 대규모 직접 회로(LSI)의 트랜지스터는 실리콘(Si)의 단결정 표면에 형성되는데, 그것과 구별하기 위해 박막 트랜지스터라고 한다. 액정 표시 장치(능동 매트릭스형)의 화소 표시에 사용된다. 박막에는 비결정성 실리콘(amorphous silicon)이나 다결정성 실리콘(polycrystalline silicon)이 사용된다.