모스 전계 효과 트랜지스터(MOSFET)를 기본 소자로 한 집적 회로. 스위칭 속도가 양극성 집적 회로에 뒤지나 제조 공정 수가 적고 고집적화가 가능하다. p형 금속 산화물 반도체(PMOS), n형 금속 산화물 반도체(NMOS), p형과 n형을 조합한 상보형 금속 산화물 반도체(CMOS)이 있다.